Plazma səthinin təmizlənməsi, qaz hissəciklərindən yüksək enerjili plazmanın yaradılması yolu ilə nümunə səthindəki çirklərin və çirkləndiricilərin çıxarıldığı bir prosesdir, səthin təmizlənməsi, səthin sterilizasiyası, səthin aktivləşdirilməsi, səth enerjisinin dəyişdirilməsi, yapışdırma və yapışma üçün səthin hazırlanması, səth kimyasının modifikasiyası.